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半导体晶圆清洗

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简介:
半导体晶圆清洗是指在半导体制造过程中,使用化学溶液或物理方法去除晶圆表面的颗粒、有机物和其他污染物的过程,以确保器件性能和良率。 本段落探讨了半导体IC制造过程中存在的各种污染物类型及其对制程的影响,并介绍了去除这些污染物的各种方法。同时,文章还分析比较了湿法清洗与干法清洗的特点及各自的清洁效果。

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    半导体晶圆清洗是指在半导体制造过程中,使用化学溶液或物理方法去除晶圆表面的颗粒、有机物和其他污染物的过程,以确保器件性能和良率。 本段落探讨了半导体IC制造过程中存在的各种污染物类型及其对制程的影响,并介绍了去除这些污染物的各种方法。同时,文章还分析比较了湿法清洗与干法清洗的特点及各自的清洁效果。
  • 测试
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    简介:半导体晶圆测试是指在集成电路制造过程中对晶圆进行的一系列电气性能检测,确保每个芯片都符合设计规格和质量标准。 在晶圆制造完成后,进行的一项至关重要的测试是整个生产过程中的关键环节。这项测试旨在评估每个芯片的电气特性和电路功能。此阶段被称为“die sort”或“wafer sort”。 在这一过程中,晶圆被固定在一个带有真空吸力的工作台上,并与一组非常细小的探针接触以进行电性检测。这些探针对准并触碰每一个焊盘(pad),然后在电源驱动下对电路进行全面测试和数据记录。整个过程由计算机程序控制,确保了精确性和效率。 这项工作的主要目的是三方面的:首先,在晶圆被送往封装工厂之前,识别出所有合格的芯片;其次,通过这种方式来优化生产流程,并减少后续环节中的废品率。
  • 设备市场研究报告
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    本报告深入分析全球及中国半导体清洗设备市场的现状、趋势和前景,涵盖市场规模、增长驱动因素、竞争格局及主要企业动态。 在半导体工艺过程中,杂质的存在会导致崩溃电压降低、氧化速率变化以及电学性质改变等问题,从而影响成品良率。需要处理的杂质种类繁多,主要包括微粒、金属离子、有机物、微粗糙和氧化物五类。 颗粒包含聚合物、光刻胶及刻蚀残留等物质,这些杂质吸附在晶圆表面,会影响器件制造过程中图形形成以及电学参数;有机物杂质包括细菌、机械油、光刻胶和清洗溶剂等来源广泛,在硅片表面上容易形成薄膜阻碍后续的清洁与加工步骤。因此通常在清洗阶段会首先去除有机物;常见的金属杂质有铁、铜、铝及铬等,这些金属来源于各种工艺过程以及设备如制造工具或化学试剂中;微粗糙一般由原材料和化学品引起,并会影响电学性质;而氧化物则是在半导体圆片暴露于空气与水环境中形成的。
  • 制造中的RCA工艺PPT
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    本PPT深入探讨了半导体制造中至关重要的RCA清洗工艺,分析其原理、应用及优化策略,旨在提升行业技术水平和产品质量。 半导体制程RCA清洗IC的PPT内容主要介绍了半导体制造过程中使用的一种重要清洗技术——RCA清洗法在集成电路(IC)生产中的应用。此方法通过特定化学溶液去除晶圆表面杂质,确保后续工艺步骤顺利进行,并提高最终产品的良率和性能。
  • WM-811K图样分类_web数据集
    优质
    简介:WM-811K半导体晶圆图样分类_web数据集包含大量用于训练和测试半导体制造过程中晶圆图像识别算法的样本,助力于提高生产效率与产品质量。 WM-811K是半导体数据集,在半导体制造过程中存在许多Craft.io问题。CP良率、WAT(晶圆接受测试)以及Particle的晶圆图模式对于工程师来说是非常有用的线索,但如何在无需人工操作的情况下将这些图案分类到服务器组中是一个难题。已经有大量研究论文探讨了这个问题,并且这里我们将展示应用深度学习方法的结果。 数据集中包含811457张图像,其中只有172950张带有手动标签的图像(总共有九个类别:0、1、2、3、4、5、6、7和8)。在这些带标签的图像中,标记为“无图案”的占到了总数的85.2%。其余模式占比为14.8%,包括中心位置4294(占比2.5%)、甜甜圈形状555(占比0.3%)、边缘位置5189(占比3.0%)和边环形图案9680(占比5.6%)。
  • 安川搬运机器人SEMISTAR-MR124.pdf
    优质
    《安川半导体晶圆搬运机器人SEMISTAR-MR124》介绍了专为半导体制造设计的高效搬运设备,适用于高精度、自动化生产环境。 安川半导体晶片搬运机器人SEMISTAR-MR124 1. 搬运处理能力提升50% - 最佳机器人手臂设计:采用轻量化、低惯性的设计方案。 - 速度合成功能:优化单独动作和合成动作的速度性能,使之达到最优状态。 - 最短轨迹生成功能:实现从起始位置到结束位置的最短路径规划。 2. 搬运精度提升50% 3. 动作区域扩大30% 单台基本机器人即可覆盖更广泛的作业范围,具备高度适应性。
  • 领域中机器视觉的应用——检测
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    本研究探讨了机器视觉技术在半导体制造中的应用,特别聚焦于晶圆检测环节。通过高精度图像处理与分析,有效提升产品质量控制和生产效率。 经过光刻的晶圆在检测后会发现大量坏品,这些坏品通常会被标记出来;不完整的芯片也属于坏品。需要将良品识别并记录其坐标位置与角度信息,并传送给运动机构进行进一步调整。固定座上安装有固定的CCD、镜头和光源,无需移动。
  • 发布新款高视频解码芯片
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    晶晨半导体最新发布了高性能高清视频解码芯片,为用户带来更流畅、更高清的视听体验,进一步推动了智能设备多媒体应用的发展。 晶晨半导体(上海)有限公司宣布成功研发了一款型号为AML3400的高清视频解码芯片HVD(High-definition video Decoder)。公司董事长钟培峰表示,采用此解码器的高清视频播放机已投入量产。 据介绍,在国际市场中流行的蓝光技术和最新的视频压缩技术如H.264目前尚未实现商业化应用。“这两种技术现在仍处于实验阶段。在市场应用、向下兼容播放DVD/VCD/CD方面还存在很多的技术障碍,而且成本很高,大规模的普及使用至少需要五年时间。”钟培峰说。 晶晨半导体声称,AML3400是当前市场上集成度最高的高清视频解码芯片之一。
  • Amlogic S805手册.pdf
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    本手册详细介绍了晶晨半导体公司的Amlogic S805芯片的各项技术规格、功能特性及应用指南,是开发和设计基于该芯片解决方案的重要参考文档。 AMlogic晶晨半导体的S805手册在小米电视盒子和其他网关产品中有广泛应用。
  • UC1628C资料手册
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    《晶宏半导体UC1628C资料手册》详尽介绍了这款高性能IC的工作原理、引脚功能及应用指南,为工程师提供便捷的设计参考。 晶宏半导体UC1628C数据手册提供了关于该芯片的详细技术规格与操作指南,它是专为低功耗手持设备设计的一款点阵液晶显示控制器驱动器。这款芯片的特点包括集成高电压混合信号CMOS电路、支持高达163COM x 256SEG矩阵,并且特别适合于电池供电的便携式电子设备如手机和手持仪器等。 UC1628C采用DCC(直接电容器耦合)驱动架构,能够在保持低功耗的同时提供几乎无串扰的图像显示效果。通过内部控制寄存器和控制命令实现对LCD显示功能的全面管理,并支持多种显示模式及帧率。此外,该芯片具备高级图形数据内存特性,允许灵活的数据寻址与映射。 UC1628C内置温度传感器并提供软件可编程的温度补偿电容以及自配置9倍充电泵功能,仅需3个外部电容器即可正常运行。支持四组独立帧率设置以适应快速响应LCD材料的需求,并具备内部电源管理和复位机制确保芯片在各种工作状态下的稳定性。 晶宏半导体UC1628C的数据手册详细描述了该款先进显示驱动器的所有技术规格和操作指南,包括电气特性、物理尺寸信息以及推荐的COG(Chip On Glass)布局指导。这些内容为设计人员提供了关于如何利用这款芯片实现低功耗高性能显示系统的关键知识。 通过阅读UC1628C的数据手册,可以深入了解其引脚功能与用途等硬件细节,并获得有关最佳装配布局的具体建议以确保良好的显示效果和可靠性。这一全面的技术文档是开发基于该款芯片的LCD显示系统的不可或缺资源。