SEMI E4-0699.pdf

简介：
SEMI E4-0699.pdf是一份由半导体设备和材料国际协会(SEMI)发布的行业标准文档，详细规定了适用于半导体制造设备的技术规范。 SEMI E4-0699标准文档介绍了SECS-I（半导体设备通信标准1消息传输）规范，这是用于交换消息的接口技术规范，连接了半导体加工设备与主机系统之间。该标准最初于1980年发布，并在1999年进行了重要修订。北美信息和控制委员会以及日本电子工业发展协会设备通讯委员会共同负责此文档的技术责任。 SECS-I涵盖了通过串行点对点数据路径进行消息交换所需的物理连接器、信号电平、数据速率及逻辑协议，但不定义具体的消息内容；这些细节由如SEMI E5等其他标准来规定。该规范适用于晶圆制造设备和相关主机系统间的通信。 修订版历史记录在附录1中，并且每次更新都保留了最初的意图：为独立制造商提供一种方法，让其生产的设备或主机无需深入了解彼此便能实现连接，从而促进不同厂家的设备无缝集成到生产线中。SECS-I被视为点对点通讯的一种分层协议。 物理链接层定义了半导体加工设备与主机之间所有必要的硬件细节；块传输协议确保数据在物理层面可靠地传送；消息协议规范了如何构建和解析包含指令及数据的消息，以实现二者间的有效通信。 此标准并未规定内部信息的具体格式或内容。这意味着需要额外的标准来解释消息的结构及其可能的数据类型（如SECS-II）。此外，它不依赖于特定的速度要求满足所有通讯需求。 综上所述，SECS-I旨在定义一种稳定、可靠且开放的消息交换机制，以实现设备与主机间的有效沟通，并确保不同厂家生产的半导体制造设备能够互操作。这一规范是自动化生产过程中的关键组成部分，有助于精确控制和监控制造流程。