
R语言代码转MATLAB-optolithium: 光刻模拟软件
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简介:
optolithium是一款利用R语言编写的光刻模拟软件代码,并提供将其转换为MATLAB兼容格式的服务,方便不同编程环境下的用户使用。
Optolithium 是一种用于光学光刻建模的软件工具,能够计算处理过程中的各种结果。该软件是开源性质的,并不针对高端VLSI制造技术节点进行设计。
该项目的主要目标是为了帮助学生研究纳米技术的基础知识,如光学光刻等过程。 Optolithium 软件可以模拟光刻工艺的不同阶段:
1. 空气成像
2. 抗蚀剂中的空气影像
3. 暴露于抗蚀剂中的潜影
4. 经过PEB处理后的抗蚀剂量化图像
5. 制造时间曲线
6. 抵抗层轮廓
此外,Optolithium 还支持最多两个参数的自动化模拟集合。目前版本仅实现了二维抗蚀剂轮廓建模,但未来的发展方向之一是增加三维模拟功能。
例如,在365nm光刻工艺中可以得到如下所示的抗蚀剂轮廓:
软件界面展示的是在抗蚀剂中的空气影像,并且可以看到驻波的影响效果。
该程序主要分为两大部分:
- 核心(OptolithiumC):这部分负责高性能计算,包括各种列表和数组的操作。
- 图形用户界面(GUI,即OptolithiumGui):用于与用户的交互。
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