
WM-811K半导体晶圆图样分类_web数据集
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简介:WM-811K半导体晶圆图样分类_web数据集包含大量用于训练和测试半导体制造过程中晶圆图像识别算法的样本,助力于提高生产效率与产品质量。
WM-811K是半导体数据集,在半导体制造过程中存在许多Craft.io问题。CP良率、WAT(晶圆接受测试)以及Particle的晶圆图模式对于工程师来说是非常有用的线索,但如何在无需人工操作的情况下将这些图案分类到服务器组中是一个难题。已经有大量研究论文探讨了这个问题,并且这里我们将展示应用深度学习方法的结果。
数据集中包含811457张图像,其中只有172950张带有手动标签的图像(总共有九个类别:0、1、2、3、4、5、6、7和8)。在这些带标签的图像中,标记为“无图案”的占到了总数的85.2%。其余模式占比为14.8%,包括中心位置4294(占比2.5%)、甜甜圈形状555(占比0.3%)、边缘位置5189(占比3.0%)和边环形图案9680(占比5.6%)。
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