
关于ZnO梁桥结构压电压力传感器的设计创新与模型构建-研究论文
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简介:
本文探讨了基于ZnO材料的梁桥型压电压力传感器设计创新及其建模方法,提出了一种新型高效的压力传感方案。
本研究的主要目的是设计一种基于ZnO的梁桥MEMS压电压力传感器,并推导出其理论数学模型。通过机械和静电分析逐步探讨影响输出或效率的因素。在Comsol Multiphysics Simulator上进行仿真,以验证理论建模的设计效果,并对分析结果与仿真结果进行了比较研究。本研究将有助于寻找基于桥梁结构的压电压力传感器的最佳设计。
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