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ITO表面电阻与电阻率及膜厚的关系说明

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简介:
本文章探讨了ITO(氧化铟锡)薄膜的表面电阻、电阻率及其厚度之间的关系,并分析了影响因素。适合材料科学领域的研究人员参考。 ITO方块电阻主要取决于其电阻率和膜的厚度,这与ITO生产厂家的工艺水平以及芯片厂家提供的参数有关。

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    本文章探讨了ITO(氧化铟锡)薄膜的表面电阻、电阻率及其厚度之间的关系,并分析了影响因素。适合材料科学领域的研究人员参考。 ITO方块电阻主要取决于其电阻率和膜的厚度,这与ITO生产厂家的工艺水平以及芯片厂家提供的参数有关。
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