
从集成电路制造过程中的晶圆图数据进行监控并实施空间聚合缺陷分析
5星
- 浏览量: 0
- 大小:None
- 文件类型:None
简介:
本研究聚焦于集成电路生产流程中晶圆图数据分析,通过实时监控与空间聚合技术识别和分类缺陷,以提高产品质量及生产效率。
传统上,在集成电路(IC)制造中的质量控制主要依赖于整体数据指标如批次或晶圆产量来进行评估。如果缺陷随机分布在众多的晶圆中,则这些方法足够有效。然而,实际上,缺陷往往以集群形式出现或者表现出其他系统性的模式,并且通常可以追溯到特定机器或是未达到要求的过程步骤所导致的原因。本段落介绍了一种在探针测试数据层面定期监控的方法,用于检测空间聚类的存在。通过一系列的统计特性来开发监测工具,在零假设和备择情景下构建这些方法,并将其应用于制造过程中的实际数据中进行应用验证。
全部评论 (0)
还没有任何评论哟~


