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从集成电路制造过程中的晶圆图数据进行监控并实施空间聚合缺陷分析

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简介:
本研究聚焦于集成电路生产流程中晶圆图数据分析,通过实时监控与空间聚合技术识别和分类缺陷,以提高产品质量及生产效率。 传统上,在集成电路(IC)制造中的质量控制主要依赖于整体数据指标如批次或晶圆产量来进行评估。如果缺陷随机分布在众多的晶圆中,则这些方法足够有效。然而,实际上,缺陷往往以集群形式出现或者表现出其他系统性的模式,并且通常可以追溯到特定机器或是未达到要求的过程步骤所导致的原因。本段落介绍了一种在探针测试数据层面定期监控的方法,用于检测空间聚类的存在。通过一系列的统计特性来开发监测工具,在零假设和备择情景下构建这些方法,并将其应用于制造过程中的实际数据中进行应用验证。

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    本研究聚焦于集成电路生产流程中晶圆图数据分析,通过实时监控与空间聚合技术识别和分类缺陷,以提高产品质量及生产效率。 传统上,在集成电路(IC)制造中的质量控制主要依赖于整体数据指标如批次或晶圆产量来进行评估。如果缺陷随机分布在众多的晶圆中,则这些方法足够有效。然而,实际上,缺陷往往以集群形式出现或者表现出其他系统性的模式,并且通常可以追溯到特定机器或是未达到要求的过程步骤所导致的原因。本段落介绍了一种在探针测试数据层面定期监控的方法,用于检测空间聚类的存在。通过一系列的统计特性来开发监测工具,在零假设和备择情景下构建这些方法,并将其应用于制造过程中的实际数据中进行应用验证。
  • 模式
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    混合模式晶圆图缺陷数据集是由多种成像技术获取的集成电路制造过程中产生的晶圆图像与对应标注构成的数据集合,旨在促进机器学习算法对复杂半导体缺陷类型的自动识别和分类。 晶圆图的缺陷识别对于确定晶圆缺陷成因至关重要,尤其是在处理混合模式缺陷的情况下。我们在某家晶圆制造厂收集了大量的晶圆图数据,这些图像通过测试每个晶粒的电学性能而获得。然而,实际采集到的各种类型的晶圆图在数量上存在较大差异,为了使各类型的数据保持平衡,我们利用对抗生成网络(GAN)生成了部分新的晶圆图。最终构建了一个包含约38000张混合模式缺陷数据集的图像库,用于识别混合模式缺陷并支持工艺改进和成因研究。
  • ArcGIS方法应用
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    本文章介绍了在地理信息系统(GIS)软件ArcGIS中的聚合分析与聚类分析技术的应用,包括空间数据处理、模式识别以及区域划分等具体案例。通过结合实际操作步骤和应用场景解析,帮助用户深入理解并掌握这两种重要的空间数据分析方法,从而更好地服务于城市规划、市场研究等多个领域的需求。 在ArcGIS中进行聚合分析与聚类分析的方法包括: 1. 重分类(Reclassify):通过新值替换、旧值合并以及重新分类等方式对数据进行处理,并可以设置空值。 2. 利用栅格计算器(Raster Calculator),结合选择函数Select()、空值设置函数Setnull()和条件函数Con()等,来进行聚合与聚类分析。
  • 大量用
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    本研究探讨了在大数据背景下如何高效地对海量用电数据进行并行处理与聚类分析,旨在发现用户用电模式和行为特征。 针对用电数据量大及用电数据分析效率低的问题,本段落通过理论分析与实验方法研究了用于电力数据分析的并行处理架构,并探讨了Canopy和K-means两种典型的聚类算法。在此基础上,提出了一种新的聚类策略:先利用Canopy对大量用电数据进行粗略分类以确定初始簇的数量及中心点位置;再采用K-means算法完成精确分组。该方法既发挥了K-means操作简便且快速收敛的优点,又避免了陷入局部最优解的缺点。 为了实现海量电力数据分析的目标,所提方案被部署在MapReduce框架上进行了实验验证。研究结果显示:提出的算法对于处理大规模用电数据集具有高效性和可行性,并展现出良好的加速比性能。
  • lammps计算能_能__lammps问题
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    本研究利用LAMMPS软件模拟材料中的缺陷结构,详细探讨了缺陷形成能的计算方法,并对常见缺陷问题进行了深入分析。 本程序为LAMMPS程序,用于计算缺陷形成能。
  • 工业检测设备裂纹
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    本研究聚焦于工业领域中设备裂纹的自动检测技术,提出了一种创新的数据合成方法,以增强机器学习模型在识别复杂和罕见裂纹模式时的表现。通过生成高质量、多样化的裂纹图像样本,该方法旨在克服实际应用中的数据稀缺难题,并提升系统整体精度与鲁棒性。 在工业缺陷检测场景下应用视觉检测技术时常会遇到缺乏足够的缺陷数据的问题。为解决这一问题,需要生成高质量的模拟缺陷数据(质量越高,训练出的模型越有可能识别实际中的真实缺陷)。视网膜纹理与设备裂纹形态相似,通过使用视网膜纹理分割数据集并结合copy-paste算法及OpenCV进行适当的随机裁剪等操作,可以有效模拟工业设备上的裂纹缺陷。这种方法已被证实是有效的。
  • 板直线、形及检测
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    本项目专注于研发先进的电路板检测技术,涵盖直线与圆形单元识别以及各类缺陷检测,致力于提升电子制造品质控制效率和准确性。 使用OpenCV的距离变换函数进行直线检测,并标记缺陷;同时利用OpenCV的函数进行圆检测。
  • 货商品到货通知
    优质
    本工具提供实时监控电商平台上的缺货商品,并在商品有库存时即时向用户发送到货通知服务。 缺货商品的实时监控与有货提醒服务。
  • 多功能风EA(含执、净值、手)- 组开关 - 交易面板
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    这款多功能风控EA提供全面的风险管理功能,包括执行缺陷检测、账户净值监控及仓位控制。用户可灵活分组设置交易策略,并通过集成的交易面板轻松操作和监控所有配置。 本产品是迈达量化全系列产品中的一个风控系统。该风险控制系统可从多个方面进行风险管理,包括EA缺陷、净值管理、盈亏控制、手数限制、单数监控、价格保护以及时间管理和纪律执行等。此外,它还配备了一键平仓功能,并且能够根据魔术编号组、货币组和订单注释组等不同组合灵活地实现自动平仓。 在屏幕上会显示哪些风控功能已经被开启,这使得用户使用起来更加方便。参数设置界面支持中英文切换,可以根据个人喜好选择加载或不加载面板。 具体来说: - 范围风控开关:允许特定的魔术编号、订单注释和产品符号进行风险控制。 - Bug风控开关:用于识别并处理EA软件中的缺陷问题。 - 纪律风控开关:对不符合交易纪律的行为执行风险管理措施。 - 净值风控开关:根据设定条件管理账户净值的风险水平。 - 手数风控开关:限制每笔交易的手数以避免过度集中风险。 - 单数风控开关:控制总的开放订单数量不超过预设上限。 - 盈利风控开关:对达到特定盈利目标的头寸进行风险管理操作。 - 亏损风控开关:防止账户因连续损失而超出预定的最大允许亏损额度。 - 价格风控开关:当市场价格到达设定阈值时触发风险保护措施。 - 时间风控开关:根据市场时间安排执行相应的风险管理策略。 请注意,在参数设置之后,必须开启对应的组别才能使这些功能生效。启用范围风控后,只有符合所设条件的订单才会受到监控和管理;如果不做任何设置或关闭该选项,则所有订单都将接受全面的风险控制检查。