课本：微机电系统基础(MEMS)

简介：
《微机电系统基础（MEMS）》是一本专注于介绍微机电系统基本原理与应用技术的教材，适合工程和技术专业的学生及研究人员阅读。 微机电系统（MEMS）是一种以微型机电组件为核心的新兴技术，涉及机械、电子、化学、生物和物理等多个学科领域。自20世纪80年代末期诞生以来，MEMS技术已经成为实验室研究与商业应用中的关键技术之一。它在惯性传感器、压力传感器、流量传感器以及触觉传感器等众多应用中发挥着重要作用，并广泛应用于微流控系统、扫描探针显微术设备和光MEMS等领域。 《微机电系统基础》是美国伊利诺伊大学Chang Liu教授编写的入门教材，内容全面且结构严谨。该书已被包括斯坦福大学在内的多所著名高校采用为教科书，并由黄庆安教授翻译成中文版本，使中国学生能够接触到先进的MEMS知识。 本书适合微机电系统、微电子学、机械工程以及仪器仪表专业的高年级本科生和研究生阅读，同时也适用于相关领域的科技人员参考。全书共16章，内容涵盖了从基础知识到应用实例的各个方面。前两章概述了基本传感原理与制造方法；第三章介绍了电学及机械方面的基础理论知识。 第四至九章节详细讲解了静电、热力学、压阻效应、压电效应和磁敏感性等技术及其在传感器和执行器设计中的应用，帮助读者深入理解这些核心MEMS组件的工作机制。第十到十一章则重点介绍了微机械加工技术和聚合物相关的制造工艺。第十二至十五章节选取了实际应用场景进行详细介绍，如微流控系统、扫描探针显微术设备及光MEMS等。 最后一章（第十六章）探讨了工艺集成问题和项目管理方面的内容，这对于希望将MEMS技术应用于商业领域的研究人员与工程师尤为重要。Chang Liu教授编写的这本书不仅提供了一个全面的学习框架，并通过包含例题和习题以及引用经典与前沿的研究论文来鼓励学生深入研究。 黄庆安教授在其序言中提到，在翻译过程中参考了自己指导的博士生及硕士研究生学位论文内容，以帮助学生更好地将理论知识应用于实际研究。这本书因此成为学习应用MEMS技术的重要资源，并对推动中国乃至全球范围内的MEMS技术教育与科研发展具有积极意义。