
矩形悬臂梁的流固谐振频率分析(2013年)
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简介:
为了确定矩形微悬臂梁的谐振频率与流体密度的理论联系,我们构建了微悬臂梁与流体的耦合振动微分方程。通过将真空振型作为微悬臂梁的流固耦合振型的替代,将流体对微悬臂梁的影响转化为流体动压力,并利用真空振型的正交性对该振动微分方程进行求解,最终得以获得悬臂梁谐振频率与流体密度之间的函数关系。在此基础上,我们对浸没于10至30摄氏度正庚烷和异辛烷中的单晶硅微悬臂梁的谐振频率进行了理论计算、仿真分析和实验测量。随后,我们将理论计算值与仿真值以及实验值进行对比分析,发现理论值和仿真值的绝对偏差均低于2.8%,而理论值和实验值的绝对偏差也同样低于...
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