SEMI标准汇编.pdf

简介：
《SEMI标准汇编》是一本全面收录了半导体制造设备及材料领域国际标准的手册，为行业内的技术规范与发展方向提供了权威指导。 为了满足无人工厂的需求，买方公司部署了AMHS自动上下货机器人，并且相关设备需要支持E84和E87的软硬件功能。 - E4：串口点对点通信标准（底层）。 - E5：消息数据格式（包括设备状态、设备控制、物料管理、配方管理和异常处理等）。 - E30：基于E5定义，提供通用模型用于制造设备间的通信和控制。 - E37：基于TCP/IP的高速SECS消息服务总线会话标准，替代了E4中的串口点对点通信方式。 - E40：规定物料加工配方程序的标准，包括行为规范等细节。 - E116：用于跟踪设备的状态与性能，并提供诊断功能。 - E84：定义晶圆传送的规格（通过AMHS），并行IO硬件通信接口标准。 - E87：协调载具进出设备管理的标准，涉及检验标识等内容。 - E94：过程控制相关规范。 - E39：定义数据结构，并提供通用对象读写服务。