
哈特曼-夏克传感器的泽尼克模式波前重建误差
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简介:
本文探讨了哈特曼-夏克传感器在波前探测中产生的泽尼克模式重建误差,分析了不同条件下误差的变化规律及影响因素。
在使用哈特曼夏克传感器测量圆孔径内的波像差时,通常采用泽尼克模式复原算法。本段落推导了一般情况下该传感器泽尼克模式波前复原误差的计算公式,并通过实验验证了这一理论结果的有效性。具体而言,利用哈特曼夏克传感器对一块具有随机静态像差的标准板进行测量,并将其与ZYGO干涉仪的结果相比较,得到了不同阶数下泽尼克模式复原的波前复原误差值。此外,还分析了这些实验数据和先前理论计算结果之间的关系。
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