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SECS：EAP端发送控制命令报文

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简介：
简介：SECS（SEMI Equipment Communications Standard）协议中，EAP端发送控制命令报文是设备与主机间通信的关键环节，用于实现半导体制造装备的状态监控和远程操作。 请提供通过S2F41发送控制指令的List格式以及附带的消息内容模板。

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  • SECS：EAP端发送控制命令报文
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    简介：SECS（SEMI Equipment Communications Standard）协议中，EAP端发送控制命令报文是设备与主机间通信的关键环节，用于实现半导体制造装备的状态监控和远程操作。 请提供通过S2F41发送控制指令的List格式以及附带的消息内容模板。
     
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