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MEMS工艺中的二氧化硅

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简介：
简介：本文探讨了在微机电系统（MEMS）制造过程中使用的二氧化硅材料。它详细介绍了其独特的物理特性、应用及优势，并分析了它在提高器件性能方面的关键作用。 二氧化硅在微系统中的三个主要应用包括：作为热和电的绝缘体、作为硅衬底刻蚀的掩膜以及作为表面微加工的牺牲层。

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  • MEMS工艺中的二氧化硅
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    简介：本文探讨了在微机电系统（MEMS）制造过程中使用的二氧化硅材料。它详细介绍了其独特的物理特性、应用及优势，并分析了它在提高器件性能方面的关键作用。 二氧化硅在微系统中的三个主要应用包括：作为热和电的绝缘体、作为硅衬底刻蚀的掩膜以及作为表面微加工的牺牲层。
     
  • 半导体硅片键合：MEMS制造工艺的成熟技术(英文).pdf
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    本文介绍了半导体硅片键合技术在MEMS制造中的应用，探讨了其作为成熟工艺的技术优势及最新进展。 《半导体硅片键合：MEMS制造工序中的成熟技术》这篇文章详细探讨了微机电系统（MEMS）制造过程中的一项关键技术——半导体硅片键合。随着新型MEMS应用领域的快速发展，对现有制造技术提出了更高的要求，这推动了新的工艺研发以满足这些需求。 硅片键合是MEMS制造的核心步骤之一，涉及两个硅片的精确对接和粘合，这对于微小机械结构的创建至关重要。文章详细介绍了目前在MEMS制造中广泛应用的几种不同的晶圆键合方法，包括热压键合、电化学键合和分子层键合等，并分析了各自的主要工艺参数及优缺点。 热压键合是最常见的技术之一，通过高温下施加压力使硅片表面接触形成牢固连接。电化学键合利用金属间化合物的生成实现硅片结合，而分子层键合依赖于原子间的直接连结，对清洁度和表面粗糙度有极高要求。 文章进一步讨论了新型晶圆键合技术的发展趋势，这些新技术旨在适应MEMS制造中的特殊需求，如高精度、低热应力及兼容多种材料。新方法可能包括改进的预处理步骤、更精确的温度控制以及使用新的辅助材料以确保键合质量和可靠性。 在MEMS制造中，硅片键合不仅需要满足微小结构的制造要求，还需考虑器件封装和功能集成方面的需求。因此，该技术不仅要关注物理结合，还要考虑电气互连、密封性和热稳定性等方面的要求。此外，文章还强调了MEMS技术多学科特性的重要性，这涵盖了机械工程、电子工程及生物医学工程等多个领域，并突出了其在物理学、化学以及生物学基础方面的应用。 《半导体硅片键合：MEMS制造工序中的成熟技术》一文详细阐述了硅片键合在MEMS制造过程中的关键作用，探讨如何通过技术创新来应对日益增长的应用需求。从汽车工业到消费电子产品再到微流体系统，随着MEMS应用领域的不断扩展，硅片键合技术的发展将对这一领域产生深远影响。
     
  • 二氧化硅表面经羟基化和硅烷化处理后湿润行为的分子模拟（2014年）
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    本研究运用分子模拟方法探讨了二氧化硅表面在经过羟基化及硅烷化改性后的湿润特性变化，旨在揭示其界面性质的微观机理。 采用分子动力学模拟方法研究了水团簇在羟基化及不同链长硅烷化的二氧化硅表面的微观润湿行为，并通过相互作用能、径向分布函数以及扩散系数等参数分析了其微观润湿机制。结果表明，羟基化二氧化硅具有很强的亲水性，而硅烷化表面则表现出较强的疏水性，且随着烷基链长度的增长，这种疏水性能逐渐增强；在羟基化的二氧化硅表面上，水分子与之存在强烈的相互作用力，使得团簇底部的水分优先向表面移动，并进一步带动其他部分的水分迁移至表面，从而促进整个水滴在表面铺展的现象。相反，在硅烷化处理过的二氧化硅上，由于其主要通过范德华力与水进行弱相互作用，不足以克服内部水分子间的作用力以破坏原有的团簇结构，因此表现出较强的疏水性特征，并且随着链长的增长这一特性更加明显。
     
  • 二氧化碳计算工具
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    简介：二氧化碳计算工具是一款便捷实用的应用程序，帮助用户快速准确地计算各种活动或项目产生的二氧化碳排放量，支持节能减排方案的设计与评估。 这款软件能够计算与CO2相关的参数，例如pH值、碱度和无机碳等。
     
  • 关于二氧化硅薄膜二次电子发射系数的研究论文.pdf
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    本文深入探讨了二氧化硅薄膜的二次电子发射特性，并分析了不同条件下其二次电子发射系数的变化规律。研究结果为相关领域提供了重要的理论依据和技术支持。 二氧化硅薄膜二次电子发射系数研究由翟耘萱、杨继凯完成。微通道板作为一种二维像增强器被应用于微光夜视、高速摄影和X射线显示技术等领域，而二氧化硅符合微通道板发射层的要求。 原文中的内容主要集中在介绍研究成果及其应用领域，并未包含联系方式或网址等信息，在重写过程中也保持了这一点。
     
  • 二氧化钛（TiO₂）
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    二氧化钛是一种无机化合物，化学式为TiO2，广泛应用于涂料、塑料、纸张等行业中作为白色颜料，同时也用作食品添加剂和防晒霜中的紫外线吸收剂。 利用传输矩阵法设计了一种由SiO2和TiO2组成的多层膜高透射率光子晶体结构，并对其透射谱特性进行了分析。通过改变一维光子晶体制备过程中的等效层参数，优化了通带内特征波长附近的透射率，得到了最佳的结构参数。研究结果表明，在晶格参数为150纳米、填充比为0.346以及周期数为6的情况下，该结构在400纳米附近吸收带处的最低透射率为96.5%。无论是TM模式还是TE模式下，当入射角范围从0°到45°时，仍能保持较高的透射率。这种设计有望应用于空气净化装置中以提高SiO2和TiO2光催化剂的催化效率。
     
  • CO2 PPM：大气中二氧化碳的变化趋势
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    本项目聚焦于分析和预测大气中二氧化碳（CO2）浓度的变化趋势，通过研究CO2 PPM数据，旨在揭示其对全球气候变化的影响及潜在环境风险。 CO2 PPM-大气二氧化碳趋势。 数据来自美国政府的地球系统研究实验室全球监测部。 提供了两个主要系列：莫纳罗亚山脉（Mauna Loa 系列）（自1958年以来连续时间最长的系列）和全球平均水平（全球海洋表层站点的平均值）。数据描述为干燥空气摩尔分数，定义为除去水蒸气后二氧化碳分子的数量除以空气中所有分子的数量（包括CO2本身）。 摩尔分数表示为百万分之一（ppm）。例如：0.000400 表示为 400 ppm。引文夏威夷莫纳罗亚火山大气二氧化碳趋势，由 NOAA / ESRL 的 Pieter 博士和斯克里普斯海洋学研究所的 Ralph Keeling 博士提供；全球大气二氧化碳趋势则由 NOAA / ESRL 的 Ed Dlugokencky 和 Pieter Tans 提供。资料来源名称：夏威夷毛纳罗亚州大气二氧化碳趋势。
     
  • 低碳二氧化碳.xlsx
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    低碳二氧化碳.xlsx文件聚焦于减少碳排放和提高二氧化碳利用效率的研究与数据汇总，旨在促进环境友好型技术的发展。 双碳经济是一个相对较新的概念，旨在通过减少碳排放并促进低碳技术和绿色经济发展来实现经济增长与环境保护的平衡。这一理念强调从降低碳排放量和增加碳汇两方面入手，以推动经济可持续发展。
     
  • 二氧化碳的大气含量
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    简介：二氧化碳大气含量是指地球大气中二氧化碳气体的比例，它是衡量气候变化和全球变暖的重要指标。 搭载于高分五号卫星平台的大气主要温室气体监测仪（GMI）主要用于测量大气中的二氧化碳（CO2）和甲烷（CH4）的柱浓度。为了确保GMI遥感数据中温室气体反演结果的准确性，需要分析诸如气溶胶等因素对反演结果的影响，并将这些因素作为校正算法的一部分加以考虑。在此基础上，利用全球总碳柱观测网（TCCON）站点的数据来验证GMI的反演效果。结果显示，在近红外波段下，GMI反演结果的误差范围为-1.06±2.93×10^-6(-0.26±0.72%)，其精度在1%以内。