E84半导体Semi中文手册

简介：
《E84半导体Semi中文手册》是一本详尽介绍E84系列半导体特性和应用的专业资料集，旨在为工程师和研究人员提供全面的技术指导和支持。 ### 半导体SEMI E84中文手册知识点解析 #### 一、规范概述 **标题及描述**：“半导体SEMI E84中文手册”主要介绍了SEMI E84标准的相关内容，这是一个针对半导体制造领域中自动材料处理系统（AMHS）与生产设备之间并行输入输出（PIO）接口的技术规范。 #### 二、目的与范围 **1.1 目的** - 随着晶圆尺寸增大至300毫米甚至更大，为了确保高效、可靠的晶圆载体（如FOUPs和开放式晶圆盒）在半导体工厂内部的自动材料处理系统（AMHS）和生产设备之间的传递，需要定义更加明确的并行输入输出(PIO)控制信号。 - **目标**：通过增强并行IO接口的功能，提高载体传输的可靠性和效率，特别是支持连续切换、同步切换和接口错误检测等功能。 **1.2 与SEMI E23的关系** - 本规范旨在增强SEMI E23中定义的并行IO接口的功能。 - **独立性**：使用SEMI E84并不依赖于SEMI E23，两者可以独立应用。 **2.1 范围** - 限定于主动设备（如AMHS设备）与被动设备（如生产设备）之间物料交接的通信。 - 包括了货架间AMHS有源设备与无源设备之间的通信。 - 定义了生产设备与AMHS之间传送载体时使用的增强型并行IO接口信号。 **2.2 具体内容** - 信号定义：包括负载端口分配信号、载波切换序列定义和时间图、错误指示检测和恢复、连接器类型、信号和针脚分配等。 - 接口传感器单位尺寸遵循SEMI E15.1规定的装载端口尺寸。 **2.3 控制机制** - 并行IO接口用于控制有源设备与无源设备之间的载波切换操作。 - 不涉及工厂级控制器对切换操作的管理。 **2.4 安全注意事项** - 本标准不解决使用过程中的安全问题，用户需自行考虑安全与健康措施。 #### 三、局限性 **3.1 材料数据管理** - 与设备的工厂接口进行管理的材料数据传输不属于本规范范畴。 - 工厂级控制器的物料管理超出本段落件讨论范围。 **3.2 负载端口对应关系** - 本规范定义了选择负载端口的信号，但未定义这些信号与实际负载端口的物理对应关系。 **3.3 错误恢复** - 错误恢复可能需要操作员的人工干预或设备特有的专有程序，故本规范未定义具体的错误恢复流程。 **3.4 时间图** - 时间图仅适用于单个并行IO接口。 **3.5 安装位置** - 对于主动和被动设备上的并行输入输出接口和连接器的具体安装位置没有规定。 **3.6 交换交接** - 交换交接（即同时进行装载和卸载）超出了货架间AMHS设备的标准范围。 #### 四、参考标准 **4.1 SEMI 标准** - SEMI E1.9：针对300毫米晶圆的盒式磁带临时机械规格。 - SEMI E15.1：300毫米晶圆载荷端口临时机械规格。 #### 五、总结 SEMI E84规范旨在提升半导体生产环境中载体传输的可靠性和效率。它通过定义明确的并行IO接口信号和控制机制，支持了连续切换、同步切换和接口错误检测等功能。虽然存在一定的局限性，如不涵盖材料数据管理等，但SEMI E84仍为半导体生产领域的自动化提供了重要的技术支撑。