
混合模式晶圆图缺陷数据集,数据集。
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简介:
识别晶圆图中的缺陷是明确晶圆缺陷根源的关键,尤其是在处理混合模式缺陷时。我们于一家晶圆制造厂收集了海量量的晶圆图数据,这些数据是通过对晶圆片上每个晶粒进行电学性能测试获得的。然而,实际采集到的各类晶圆图的数量分布呈现出显著的差异性。为了确保各类数据间的平衡性,我们采用了对抗生成网络技术来生成一部分模拟的晶圆图。经过处理,最终构建了大约38000张的混合模式晶圆图缺陷数据集,该数据集旨在用于识别混合模式晶圆图中的缺陷,并为改进晶圆制造工艺中的缺陷成因分析提供支持。相关的数据文件包括Wafer_Map_Label.bin和Wafer_Map_Data.bin。
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