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简介：
- 《SEMI EQUIPMENT COMMUNICATIONS STANDARD 1 MESSAGE TRANSFER》(E4) – 《SEMI EQUIPMENT COMMUNICATIONS STANDARD 2 MESSAGE CONTENT》(E5) – 《GENERIC MODEL FOR COMMUNICATIONS AND CONTROL OF MANUFACTURING EQUIPMENT》(E30) – 《HIGH-SPEED SECS MESSAGE SERVICES GENERAL SESSION》(E37) – 《Standard for Processing Management》(E40) – 《Equipment Performance Tracking》(E116) – 《Specification For Enhanced Carrier Handoff Parallel I/O Interface》(E84) – 《Specification For Carrier Management(CMS)》(E87) – 《Specification For Control Job Management》(E94) – Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Service》(E39) 为了避免对工厂的需求产生影响，买方公司选择部署AMHS自动上下货机器人，从而确保对应于机台能够满足E84和E87的软硬件功能需求。 具体而言： - E4代表串口点对点通信的标准，作为底层通信的基础。 - E5则定义了消息数据格式，涵盖设备状态、设备控制、物料管理、配方管理以及异常处理等关键信息。 - E30建立在E5的基础上，提供更高级的通信模型。 - E37基于TCP/IP协议栈，替代了传统的E4标准，以实现更高速度的通信。 - E40规范了特定物料加工配方程序的行为标准。 - E116专注于跟踪设备的状态与性能表现，并提供全面的诊断功能。 - E84详细规定了物料运输中的晶圆传送标准，通过AMHS实现并行IO硬件通信接口。 - E87则阐述了协调carrier进出设备管理的标准，例如检验标识的管理流程。 - E94定义了过程控制的相关规范。 - E39明确了数据结构的定义和通用对象的读写服务提供方式。