
3D封装结合硅通孔TSV工艺技术。
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简介:
3D封装以及硅通孔TSV工艺技术,凭借硅通孔(TSV)铜互连的立体(3D)垂直整合方式,被广泛认为是半导体行业当前最尖端的解决方案之一。硅片通孔(TSV)代表了三维叠层硅器件技术领域的最新突破。作为一项关键的开发技术,TSV利用垂直电连接,或通过硅晶片内部的“通孔”来实现芯片表面与背面之间的电连接。这种设计方案能够提供最短的连接路径,从而为最终的三维集成提供了可行性。相较于引线键合和倒装芯片堆叠技术,TSV技术显著提升了空间利用率并实现了更高的互连密度。当与微凸块接合以及先进的倒装芯片技术相结合时,TSV技术能够在更紧凑的外形尺寸内,充分实现更高层次的功能集成和卓越的性能表现。
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