SEMI E30 - 0299修订版.pdf
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简介：
这份文档是关于SEMI E30标准的修订版本（编号为0299），包含了对前一版的标准进行更新和改进的内容。适合从事半导体制造行业及相关技术研究的专业人士参考使用。
SEMI E30-0299是关于半导体设备通讯与控制的通用模型标准，由全球信息和控制委员会技术批准，并且北美信息和控制委员会直接负责该标准。1998年8月15日，北美区域标准化委员会正式通过了这一标准，计划于1999年1月初在SEMI在线上公开发布，并于同年2月正式发行。
此标准名为“SEMI E30-0299 半导体设备通信和控制通用模型（GEM）”，定义了一个用于半导体制造设备通讯与控制的框架。该标准包括以下组件：
1. 引言部分概述了修订历史、应用范围、意图，以及GEM的范围和组成部分，并包含适用文件和定义。
2. 状态模型涵盖了状态模型的方法论、通信状态模型、报警管理等，还包括远程控制及设备常量等内容。
3. 数据项包括控制与处理的状态转移表及其图表
4. 设备能力和场景部分介绍建立通讯、数据采集以及控制应用的限制组合示例和元素，并定义了受限状态模型和表格。
5. 数据项限制则界定了具体的数据项限值及变量列表。
6. 收集事件被详细说明，涵盖了GEM规定的收集事件类型
7. SECS-II消息子集包括设备的状态报告、控制与诊断功能等，以及异常（报警）的通报、数据采集和处理程序加载等内容。
标准中还进一步阐述了GEM的基本需求，例如环境监测示例及校准计数器案例。这些要求涵盖了从启动到正常运行直至停止或故障状态的所有阶段，并涉及设备与主机系统之间的通信机制及其如何应对报警与错误情况等关键操作功能。
该模型为半导体制造设备提供了一种通用的通讯协议和控制逻辑语言，确保不同制造商的产品能够实现高效且标准化的信息交换。这对构建自动化生产线至关重要，通过这种方式可以监控设备状态、实施过程控制并处理数据收集及远程诊断等问题。
在支持GEM标准的装置上，相应的软件系统需兼容SECS-II通信协议——这是SEMI系列中的第二个通讯规范，规定了设备和主机间的根本交互方式。利用此协议，设备能够交换信息、执行指令，并报告各种异常情况。
每个“stream”（流）代表一类特定的消息：例如，“stream1”用于状态更新；“stream2”涉及控制与诊断功能。“stream5”，“stream6”，以及其它相关术语则分别处理报警通知和数据采集等任务。所有这些机制的运作都必须符合GEM标准中的规定，以确保半导体制造设备之间的兼容性和可互换性。
通过标准化各装置的行为模式，GEM标准简化了集成过程并提高了整个生产线的工作效率与可靠性。这不仅减少了时间成本，还提升了行业的整体生产力水平。
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