RFMEMS系统的运作机制及其应用。

简介：
在过去的二十年里，无线个人通信设备的市场规模经历了显著的增长，微波和毫米波技术的研发重心已经从传统的国防应用转向了面向消费者的应用场景。Consequently, 歧管的产量有所增加，同时这些系统所需的功率处理能力也得到了大幅降低。这些转变为微机电系统（MEMS）在众多现今和未来的射频（RF）、微波和毫米波系统中得到广泛应用奠定了坚实的基础。这种类型的设备被称为RF MEMS，尽管它代表着全新的技术范畴；其制造方式可能包括通过微机械操作、微纤维加工，或者两者结合。值得庆幸的是，MEMS系统的处理技术在过去几十年里取得了显著的进步，并且我们越来越倾向于将其应用于微波和毫米波系统，甚至光学系统中。除了具备批量生产和小型化的优势外，它还能有效地提升整个系统的效率。