日立电子扫描电镜操作指南。

简介：
本产品的使用手册包含五个独立的卷帙，分别为“系统说明”、“操作说明”、“窗口说明”、“错误信息说明”和“测量/图像文件配置”。此卷是CD测量与评估SEM系统“操作说明”的一部分。• “系统说明”部分涵盖了仪器安装要求、部件布局、功能特性、操作原理、文件组织结构、坐标方案、仪器运行启动/停止方法、故障排除、维护保养以及安全注意事项等内容。• “操作说明”部分则详细阐述了仪器运行程序、文件创建程序以及可选功能控制程序的步骤。• “窗口说明”部分对显示在监控器上的操作函数和程序进行了具体描述。• “错误信息说明”部分列出了仪器运行过程中可能出现的错误信息及其对应的处理方法。• “测量/图像文件配置”部分解释了图像和测量文件的配置方式。• 在尝试操作仪器之前，务必首先阅读“系统说明”。随后，在您对仪器具备一定的了解后，请查阅“操作说明”和“窗口说明”。• 仪器的正常运行维护和检查程序，详尽地描述在“系统说明”中。按照“系统说明”中包含的定期检查清单，定期执行维护和检查，如指示所列。• 本手册包含关于多种仪器型号、软件版本及可选功能的描述信息。请确认您的仪器型号、软件版本及所包含的选装功能，然后阅读手册中的相应描述。• 本手册适用于S-9000系列CD SEM的以下型号：S-9200, S-9220, S-9260, S-9260A, S-9300, S-9360 和 S-9380。