
半导体工厂自动化中的SECS III及GEM通讯协议.rar_SECS_SECS Talk Pro III_secs/gem_
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简介:
本资料深入解析了半导体制造过程中广泛应用的SECS/GEM通信标准,重点介绍了其在自动化控制系统中扮演的关键角色,并详细阐述了如何利用Talk Pro III进行高效的数据交换与设备管理。
SECS通讯协议基于SECS/I串口通信,主要介绍两部分内容:SECS I 和 SECS II。
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