
_cmos基础知识与基本工艺流程_
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简介:
本简介旨在介绍CMOS(互补金属氧化物半导体)的基本概念、工作原理及其制造工艺流程,涵盖从设计到生产的各个环节。
CMOS基本工艺流程包括扩散、光刻、刻蚀和离子注入等多个步骤。首先进行的是扩散过程,在这个过程中将特定的杂质掺入硅基片中以形成所需的半导体器件结构;随后是光刻阶段,利用掩膜版在硅表面涂覆一层光阻材料,并通过曝光和显影技术定义出电路图案;接着执行刻蚀工艺,去除未被保护层覆盖的部分物质,从而实现对特定区域的精确加工;最后进行离子注入步骤,在此环节中将高能量的带电粒子加速并射入半导体晶圆内部,以改变其导电性能。这些工序共同作用于制作出高性能且低功耗的CMOS器件。
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