针孔式点衍射干涉仪的无镜成像技术

简介：
简介：本研究提出了一种创新性的针孔式点衍射干涉仪技术，实现无需传统反射或透射镜片条件下的高精度成像，具有结构简单、操作便捷及成本低廉等优点。 为了减少传统针孔式点衍射干涉仪中的误差问题，我们提出了一种无镜成像算法。该方法无需使用复杂的干涉成像系统，在CCD直接采集到的图像基础上复原求解被测件面形信息。 基于平面波角谱理论，我们的算法构建了虚拟物像共轭关系，并能够从CCD获取的干涉图中反演至被测件位置处的真实干涉图。通过仿真和实验验证，我们发现该无镜成像算法可以有效消除边缘衍射及中心衍射条纹的影响，同时还能抑制相干噪声。 相较于传统的设计与加工方式，使用无镜成像方法能够避开复杂的设计流程以及制造难度，从而更有效地保证针孔式点衍射干涉仪的测量准确性。