
基于MATLAB和非球面轮廓仪的Q-Type非球面检测方法
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简介:
本研究提出了一种利用MATLAB软件与非球面轮廓仪结合的方法,用于精确检测Q-Type非球面镜片,提升了测量效率及精度。
Q-type非球面广泛应用于光学系统设计中。为了应对Q-type非球面超精密加工过程中的面形检测问题,提出了一种结合MATLAB软件与Taylor Horbson PGI-1240非球面轮廓仪的方法,以实现对Q-type非球面的高精度检测。通过这种方法进行的测试结果表明,在使用Nanoform 700 Ultra单点金刚石超精密车床加工得到全口径为11.8毫米的单晶铜Q型非球面时,其面形误差峰谷(PV)值达到了0.1963微米,表面粗糙度方均根(RMS)值则为0.03412微米。这些数据满足了加工第一阶段对面形误差PV小于0.2微米以及表面粗糙度RMS小于0.04微米的要求。此检测方法能够精确地获得工件面形的误差信息,从而为后续车削加工提供必要的数据支持。
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